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真空镀膜腔采购项目(2次竞价)
竞价结果公告(JJ26092014140420)
开始时间：2026-09-28 10:47:33 截止时间：2026-10-01 10:47:33 截止时间已过
成交单位：合肥薄晶科技有限公司
成交价： 449000.000元
说明：各有关当事人对竞价结果有异议的，可以在竞价结果公告发布之日起3天内通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
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采购单位：广东工业大学
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联系人：******
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E-mail：******
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联系电话：******
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传真：******
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联系手机：******
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邮编：******
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平台联系电话（异议）：******
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项目名称：
真空镀膜腔采购项目(2次竞价)
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竞价编号：JJ26092014140420
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采购类型：货物类
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开始时间：2026-09-28 10:47:33
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项目预算(元)：已隐藏
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结束时间：2026-10-01 10:47:33
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质保期及售后要求：详见《电子竞价导入参数表》
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其他要求：详见《电子竞价导入参数表》
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无
响应情况
| 资格及商务响应情况 | ||||
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| 项目 | 竞价要求 | 响应情况 | ||
| 资格条件 | 详见《电子竞价导入参数表》 | 详见附件承诺书。 | ||
| 付款方式 | 详见《电子竞价导入参数表》 | 合同生效后，成交人开出以采购人为受益人的“见索即付”形式的预付款银行保函，保函金额为合同总金额，保函付款条件为银行收到采购人书面索赔通知即须赔付，保函有效期为合同生效后一年；采购人收到银行保函后十个工作日内按相关规定办理支付手续，采购人将合同货款（人民币肆拾肆万玖仟元整，¥449000.00）支付给成交人。 货物安装调试完毕，经采购人、成交人双方对货物进行验收合格并完成交付后，成交人开具全额增值税专用发票给采购人，采购人将银行保函原件退回给成交人，成交人自行到银行办理相关手续。 | ||
| 交付时间 | 详见《电子竞价导入参数表》 | 合同生效240天内乙方完成货物安装调试并交付使用。 | ||
| 履约保证金： | 无需履约保证金 | 无 | ||
| 交付地址 | 详见《电子竞价导入参数表》 | |||
| 质保期及售后要求 | 详见《电子竞价导入参数表》 | 所有货物保修期1年，乙方提供免费1年上门保修服务和系统维护，乙方不再收取任何费用，保修期自甲乙双方代表在货物安装调试后的验收证明文件上签字之日起计算。 | ||
| 其他要求： | 详见《电子竞价导入参数表》 | 无 | ||
| 报价情况 | ||||
| 标的名称 | 生产厂商/品牌、型号规格 | 数量 | 响应情况 | 单价（元/%） |
| 真空镀膜腔 | 详见《电子竞价导入参数表》、详见《电子竞价导入参数表》 | 1.00 | 安徽外延科技、 ET-PLD-1000 | 449000.000元 |
| 总报价 | 449000.000 元 | |||
| 技术响应 | ||||
| 标的名称 | 技术要求 | 响应情况 | ||
| 真空镀膜腔 | 详见《电子竞价导入参数表》 | 一、超高真空主腔体 1.1主腔体采用无磁：304SS不锈钢材质，腔体内部电解抛光处理，背底真空优于7×10-7mbar（未烘烤），经过48小时烘烤后背底真空优于7×10-9mbar。分子泵，抽速700 L/s。分子泵和主腔体之间通过气动闸板阀隔离，前级涡旋干泵（耐腐蚀）抽速16m3/h 1.2主腔体配有1个全量程真空计（5×10-9 mbar到1000 mbar）。 1.3主腔体配置1个薄膜真空计量程为1Torr型量程0.0001-1Torr，分辨率为0.003%，专门用于精确控制生长时的工艺压力。 1.4主腔体法兰包括：观察窗，样品台，靶台，分子泵抽气口，真空计，气体入口，放气口，红外测温及激光加热入口，样品吹扫入口，预留离子源入口。 二、样品台与加热系统 1.1样品尺寸：样品至少可达1英寸并配置10×10 mm2样品托。 1.2样品台通过红外激光加热，对标准18mm托，最高加热温度1000℃，温度稳定性优于±1 ℃, 样品的温度均匀性优于2%, PID控温时温度过冲设定温度≤2℃。 1.3红外激光加热配有冷却系统（风冷）。 1.4样品托兼容不同尺寸，最大可以放一英寸基片，同时兼容旗形样品托。 1.5样品台四轴样品台：自转0-30RMP 软件控制，基片移动范围 X：±12.5 mm，Y：±12.5mm Z：30 mm（手动）。 三、靶台与气路系统 靶台 1.1靶台四维运动自由度 ，包括公转（360°）和XYZ线性运动，公转行程360°；XY行程±12.5mm，Z行程100mm，可以一次性通位磁力杆取出所有靶材进行换靶。 1.2靶台同时容纳5个1英寸靶。 1.3靶托带有双重防交叉污染结构，具有全包裹罩子防污染。 1.4靶台采用步进电机控制，软件自动控制运动，实现激光在靶材表面上二维面积扫描，公转选靶。用户可以通过电机定义靶的二维扫描形状和面积，****中心位置。软件可纪录扫描停止的位置，用于表面敏感特殊材料制备时的不重复路径扫描。 压力控制和气路 1.1配备3路气路：1路为精细氧气工艺气路，包括流量计（可在0-100sccm控制，流量控制范围不低于满量程的2%-100% F.S.）。1路为氮气，用于腔体放气，通过浮子流量计（可在0-10L/s控制）和截止阀控制流量。1路为氩气保护气路，包括流量计（可在0-100sccm控制，流量控制范围不低于满量程的2%-100% F.S.）。 1.2不能只通过分子泵和主腔体之间的闸板阀开合来控制腔体内压力，需能精细的控制主腔体内的压力，如主腔体和分子泵之间有旁抽气路，通过控制气体流量精细控制压力。 四、激光光路 1.1配有可三维线性动运调节的透镜支架1个。 1.2激光光路配有1套焦距500 mm的熔融石英聚焦透镜。透镜配有遮尘罩1个。 1.3准分子激光器出口到透镜之间的光路配有防护架，铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩；3个2英寸激光反射镜，角度可调和配套3个反射镜支架。 五、控制系统 1.1系统配备****中心。 1.2系统控制软件可以进行样品加热，靶位扫描，分子泵以及系统工艺压力控制等。 1.3样品和靶材位置软件控制，配有至少5个位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台。 1.4脉冲激光脉冲控制提供计数模式和连续模式。 | ||
| 附件 | ||||
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本公告地址：https://www.slzb.net/view/17634/naRuGaEBMqitpwL5y3U5.html
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